SUMMIT200 概述

新型Cascade Summit200先进的200mm探针台对于尽可能快地收集单个或大量晶圆高精度测量数据至关重要。

新一代探针台采用PureLineTM技术，实现目前市场上的最低噪声测量方案。AttoGuard®和MicroChamber®专利技术显著提升低漏电和小电容的测试精度。新型快速200mm上料平台一次性可放50片晶圆的高吞吐量，-60℃到300℃的宽温度范围为科学家、研发人员、测试工程师和生产操作人员快速完成任务所需的一切。