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产品信息

Product information

产品信息
APOLLOWAVE 4/6/8/12寸载物台(可加热)探针台 高低温超低噪声

APOLLOWAVE 4/6/8/12寸载物台(可加热)探针台 高低温超低噪声

产品型号:4/6/8/12寸载物台(可加热)      原产地:日本

所属类别:探针台配件

产品简介:

适应各种尺寸晶圆的高低温,常温测试;适应于高功率碳化硅,硅基功率器件WAFER 测试,及各种射频芯片测试

产品特点
产品参数
应用说明
功能配置
资源下载

载物台:


4寸普通载物台

    2.1 尺寸:          210mm

    2.2 测试对象:      4英寸及以下晶圆或芯片

    2.3 固定方式:      真空吸附

    2.4 最高耐电压:    20kV

    2.5 最高耐电流:    200A Pluse

    2.6 载物台导电:    可(适用纵向排列晶粒) / 不可

    2.7 接触电阻:      小于15mΩ(20A,纯金测试板)

    2.8 接线口:        香蕉头接口(适用岩通CS系列)

   


6寸普通载物台

    2.1 尺寸:          210mm

    2.2 测试对象:      6英寸及以下晶圆或芯片

    2.3 固定方式:      真空吸附

    2.4 最高耐电压:    20kV

    2.5 最高耐电流:    200A Pluse

    2.6 载物台导电:    可(适用纵向排列晶粒) / 不可

    2.7 接触电阻:      小于15mΩ(20A,纯金测试板)

    2.8 接线口:        香蕉头接口(适用岩通CS系列)

   


8寸普通载物台

    2.1 尺寸:          210mm

    2.2 测试对象:      8英寸及以下晶圆或芯片

    2.3 固定方式:      真空吸附

    2.4 最高耐电压:    20kV

    2.5 最高耐电流:    200A Pluse

    2.6 载物台导电:    可(适用纵向排列晶粒) / 不可

    2.7 接触电阻:      小于15mΩ(20A,纯金测试板)

    2.8 接线口:        香蕉头接口(适用岩通CS系列)

   


12寸普通载物台

    2.1 尺寸:          210mm

    2.2 测试对象:      12英寸及以下晶圆或芯片

    2.3 固定方式:      真空吸附

    2.4 最高耐电压:    20kV

    2.5 最高耐电流:    200A Pluse

    2.6 载物台导电:    可(适用纵向排列晶粒) / 不可

    2.7 接触电阻:      小于15mΩ(20A,纯金测试板)

    2.8 接线口:        香蕉头接口(适用岩通CS系列)

   


4寸加热载物台

    2.1 尺寸:          210mm

    2.2 测试对象:      4英寸及以下晶圆或芯片

    2.3 固定方式:      真空吸附

    2.4 最高耐电压:    20kV

    2.5 最高耐电流:    7A DC

    2.6 载物台导电:    可(适用纵向排列晶粒) / 不可

    2.7 温度范围:      RT – 200 / 300 / 350

    2.8 加热方式:      电加热,1200W

    2.9 冷却方式:      空冷(需压缩空气)

    2.10 温度控制:     载物台内置式CA热电偶,精度为显示温度的±1%以内

    2.11 接线口:       香蕉头接口(适用岩通CS系列)

   


6寸加热载物台

    2.1 尺寸:          210mm

    2.2 测试对象:      6英寸及以下晶圆或芯片

    2.3 固定方式:      真空吸附

    2.4 最高耐电压:    20kV

    2.5 最高耐电流:    7A DC

    2.6 载物台导电:    可(适用纵向排列晶粒) / 不可

    2.7 温度范围:      RT – 200 / 300 / 350

    2.8 加热方式:      电加热,1200W

    2.9 冷却方式:      空冷(需压缩空气)

    2.10 温度控制:     载物台内置式CA热电偶,精度为显示温度的±1%以内

    2.11 接线口:       香蕉头接口(适用岩通CS系列)

 


8寸加热载物台

    2.1 尺寸:          210mm

    2.2 测试对象:      6英寸及以下晶圆或芯片

    2.3 固定方式:      真空吸附

    2.4 最高耐电压:    20kV

    2.5 最高耐电流:    7A DC

    2.6 载物台导电:    可(适用纵向排列晶粒) / 不可

    2.7 温度范围:      RT – 200 / 300 / 350

    2.8 加热方式:      电加热,1200W

    2.9 冷却方式:      空冷(需压缩空气)

    2.10 温度控制:     载物台内置式CA热电偶,精度为显示温度的±1%以内

    2.11 接线口:       香蕉头接口(适用岩通CS系列)

 


12寸加热载物台

    2.1 尺寸:          210mm

    2.2 测试对象:      12英寸及以下晶圆或芯片

    2.3 固定方式:      真空吸附

    2.4 最高耐电压:    20kV

    2.5 最高耐电流:    7A DC

    2.6 载物台导电:    可(适用纵向排列晶粒) / 不可

    2.7 温度范围:      RT – 200 / 300 / 350

    2.8 加热方式:      电加热,1200W

    2.9 冷却方式:      空冷(需压缩空气)

    2.10 温度控制:     载物台内置式CA热电偶,精度为显示温度的±1%以内

    2.11 接线口:       香蕉头接口(适用岩通CS系列)


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