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AGILENT安捷伦B1505A 10KV、1500A功率半导体综合测试仪
所属类别:功率半导体器件特性图示仪
产品简介:Agilent B1505A 功率器件分析仪/曲线追踪仪是一款适合功率器件测试的综合解决方案,具有 sub-pA 至 10 kV/1500 A 的宽测量范围,并可提供精密的 µÙ 导通测量功能。此外,其 10 µs 快速脉冲功能能够执行完整的功率器件表征,并对新功率器件(例如 IGBT )和宽带隙材料(例如,碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)进行测试。该解决方案通过易用的软件环境还可显著提高输入检测和故障分析功能。
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B1505A 功率器件分析仪 曲线追踪仪是一种单机解决方案,它具有在10kV 和 1500A 条件下精确评估和表征功率器件的下一代曲线追踪仪功能。B1505A 能评估所有类型的功率器件,其优异的性能特性包括宽电压和电流范围,快脉冲能力 ( 10μs ) ,μ Ω级导通电阻测量分辨率,以及亚 pA 级电流测量能力。此外,它的示波器观察功能还可对脉冲波形进行视觉验证。每个通道上配备的两个独立的模数( A / D )转换器支持 2 μs 采样率,能够对有可能影响器件特性的
关键计时进行精确监测。它也能在高电压偏置 ( 达3000V )下进行电容测量。带 EasyEXPERT 软件的 B1505A 包括将熟悉的曲线追踪仪测量功能与方便的 PC 基仪器相组合的曲线追踪仪工作模式,传统曲线追踪仪用户能很快掌握该仪器的操作。对于测量功率器件和电源电路,该仪器更便于使用,有更好的数据分析能力,同时也简化了对测量数据的管理。

● 进行宽范围的 IV 测量
● 达 10 kV/1500 A
● 大的峰功率: 22.5 kW
● 高压偏置下的中电流测量
(即 500 mA, 1200 V 下)
● μΩ 电阻测量
● 亚 pA 泄漏测量
● 进行高电压偏置的 CV 测量
● 脉冲测量 (≥ 10 μs)
● 温度测量
● 易于使用的 EasyEXPERT 测试环境
● 曲线追踪仪测试模式
● 示波器观察方式
● 模块化配置, 有 10 个用于支持模块
的插槽
● 多种适用 SMU 类型 : HPSMU,
MPSMU, HCSMU, MCSMU 和 HVSMU
● 多频电容测量单元 (MFCMU),
(1 kHz 至 5 MHz)
● 适用于封装测试和圆片测试的标准
附件: 测试夹具, 模块选择器和
高压偏置三通
● 主机随带 4.2 A 接地单元
● 用于仪器控制的 GPIB 端口
● 自测, 自校, 自诊


指标条件
规定的测量与输出精度需符合下列条件。注: SMU 的测量和输出精度规定为在 SMU 连接端处, 用检零端作参照。
1. 温度: 23°C ± 5°C
2. 湿度: 20% 至 70%
3. 要在 40 分钟预热后进行自校
4. 在自校后, 环境温度变化需小于
±1°C (注: 不适用于 MFCMU)
5. 在自校后一小时内进行测量
(注: 不适用于 MFCMU)
6. 校准周期 : 一年
7. SMU 积分时间设置 : 1 PLC (1 nA 至
1 A 量程, 电压量程), 200 μs (20 A
量程) 高速模数转换器平均;
每 1 PLC 为 128 采样样本
8. SMU 滤波器 : 开 (对于 HPSMU 和
MPSMU)
9. SMU 测量端连接:开尔文连接(对于 HPSMU, MPSMU, HCSMU 和MCSMU), 非 Kelvin ( 对于 HVSMU )注: 本文列出了 B1505A 及其模块的技术指标和补充特性。技术指标是对 B1505A 和相关模块的测试标准。出厂的 B1505A 及任何相关模块均符合技术指标要求。技术指标之后的“补充”特性不是保证的指标,而是提供仪器功能和性能的有用信息。
注: 当您在 B1505A 主机中安装或更换模块时,Agilent 保证这些模块的功能性,模块是按技术指标进行的设计。但如果您要求模块达到技术指标,则必须对仪器进行校准。

支持的插入模块
B1505A 支持 10 个模块插槽
部件号说明占用插槽工作范围测量分辨率
B1510A 高功率源监视单元 (HPSMU) 2 -200 V 至 200 V, -1 A 至 1 A 2 μV, 10 fA
B1511A 中功率源监视单元 (MPSMU) 1 -100 V 至 100 V, -100 mA 至 100 mA 0.5 μV, 10 fA
B1512A 大电流源监视单元(HCSMU) 2 -100 V 至 100 V, -1 A 至 1 A
-20 V 至 20 V, -20 A 至 20 A (仅限脉冲)
200 nV, 10 fA
B1513B 高压源监视单元 (HVSMU) 2 -3000 V 至 3000 V, -4 mA 至 4 mA
-1500 V 至 1500 V, -8 mA 至 8 mA
200 nV, 10 fA
B1514A 中电流源监视单元 (MCSMU) 1 -30 V 至 30 V, -100 mA 至 100 mA
-30 V 至 30 V, -1 A 至 1 A (仅限脉冲)
200 nV, 10 pA
B1520A 1 多频电容测量单元 (MFCMU) 1 1 kHz 至 5 MHz 0.035 fFrms 2
1. B1505A 不支持 N1300A-100 SMU CMU 统一单元 (SCUU)。
2. 10 pF 电容器接到测量端时, 在下列测量条件下有效: 1 MHz 频率, 信号电平 250 mV AC, 测量时间 1 PLC。在 6 位显示时, 1 fF 量级的显示分辨率为 0.000001 fF。

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