APOLLOWAVE α-150 手动探针台 高功率半导体探针台系统
产品型号:α-150 原产地:日本
所属类别:探针台配件
产品简介:
高性能日本原装手动探针台,载物台尺寸可选6-8吋
APOLLOWAVE α-150 手动探针台 高功率半导体探针台系统
产品型号:α-150 原产地:日本
所属类别:探针台配件
产品简介:
高性能日本原装手动探针台,载物台尺寸可选6-8吋
探针台主机:α-150
1.1 适用: 6英寸及以下晶圆或芯片
1.2 X轴: 粗调行程:200mm
粗调方式:自锁式推拉杆
微调行程:25mm
微调方式:千分尺控制
控制分辨率:10um
1.3 Y轴: 粗调行程:200mm
粗调方式:自锁式推拉杆
微调行程:25mm
微调方式:千分尺控制
控制分辨率:10um
1.4 Z轴: 移动量:10mm
粗调行程:5mm,精度:±10%以内
微调行程:0.3mm,精度:±20%以内
1.5 θ轴: 移动量:±10°以上
1.6 平行度: 对载物台 30um以内
1.7 尺寸: 600(W)×600(D)×450(H) 不含突出部
1.8 重量: 约60kg
1.9 真空压 小于-65kPa(用于晶圆吸附)
1.10 压缩空气:0.4-0.5MPa
1.11 使用环境:温度23℃±5℃,湿度20%-80%(无结霜)
探针台主机:α-150
1.1 适用: 6英寸及以下晶圆或芯片
1.2 X轴: 粗调行程:200mm
粗调方式:自锁式推拉杆
微调行程:25mm
微调方式:千分尺控制
控制分辨率:10um
1.3 Y轴: 粗调行程:200mm
粗调方式:自锁式推拉杆
微调行程:25mm
微调方式:千分尺控制
控制分辨率:10um
1.4 Z轴: 移动量:10mm
粗调行程:5mm,精度:±10%以内
微调行程:0.3mm,精度:±20%以内
1.5 θ轴: 移动量:±10°以上
1.6 平行度: 对载物台 30um以内
1.7 尺寸: 600(W)×600(D)×450(H) 不含突出部
1.8 重量: 约60kg
1.9 真空压 小于-65kPa(用于晶圆吸附)
1.10 压缩空气:0.4-0.5MPa
1.11 使用环境:温度23℃±5℃,湿度20%-80%(无结霜)
日本岩通计测IWATSU - 德国PMK - 牛顿N4L- GWINSTEK- 日本APOLLOWAVE - 德国 DR HUBERT 中国总代理
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