APOLLOWAVE 4/6/8/12寸载物台(可加热)探针台 高低温超低噪声
产品型号:4/6/8/12寸载物台(可加热) 原产地:日本
所属类别:探针台配件
产品简介:
适应各种尺寸晶圆的高低温,常温测试;适应于高功率碳化硅,硅基功率器件WAFER 测试,及各种射频芯片测试
APOLLOWAVE 4/6/8/12寸载物台(可加热)探针台 高低温超低噪声
产品型号:4/6/8/12寸载物台(可加热) 原产地:日本
所属类别:探针台配件
产品简介:
适应各种尺寸晶圆的高低温,常温测试;适应于高功率碳化硅,硅基功率器件WAFER 测试,及各种射频芯片测试
载物台:
4寸普通载物台
2.1 尺寸: 210mm
2.2 测试对象: 4英寸及以下晶圆或芯片
2.3 固定方式: 真空吸附
2.4 最高耐电压: 20kV
2.5 最高耐电流: 200A Pluse
2.6 载物台导电: 可(适用纵向排列晶粒) / 不可
2.7 接触电阻: 小于15mΩ(20A,纯金测试板)
2.8 接线口: 香蕉头接口(适用岩通CS系列)
6寸普通载物台
2.1 尺寸: 210mm
2.2 测试对象: 6英寸及以下晶圆或芯片
2.3 固定方式: 真空吸附
2.4 最高耐电压: 20kV
2.5 最高耐电流: 200A Pluse
2.6 载物台导电: 可(适用纵向排列晶粒) / 不可
2.7 接触电阻: 小于15mΩ(20A,纯金测试板)
2.8 接线口: 香蕉头接口(适用岩通CS系列)
8寸普通载物台
2.1 尺寸: 210mm
2.2 测试对象: 8英寸及以下晶圆或芯片
2.3 固定方式: 真空吸附
2.4 最高耐电压: 20kV
2.5 最高耐电流: 200A Pluse
2.6 载物台导电: 可(适用纵向排列晶粒) / 不可
2.7 接触电阻: 小于15mΩ(20A,纯金测试板)
2.8 接线口: 香蕉头接口(适用岩通CS系列)
12寸普通载物台
2.1 尺寸: 210mm
2.2 测试对象: 12英寸及以下晶圆或芯片
2.3 固定方式: 真空吸附
2.4 最高耐电压: 20kV
2.5 最高耐电流: 200A Pluse
2.6 载物台导电: 可(适用纵向排列晶粒) / 不可
2.7 接触电阻: 小于15mΩ(20A,纯金测试板)
2.8 接线口: 香蕉头接口(适用岩通CS系列)
4寸加热载物台
2.1 尺寸: 210mm
2.2 测试对象: 4英寸及以下晶圆或芯片
2.3 固定方式: 真空吸附
2.4 最高耐电压: 20kV
2.5 最高耐电流: 7A DC
2.6 载物台导电: 可(适用纵向排列晶粒) / 不可
2.7 温度范围: RT – 200℃ / 300℃ / 350℃
2.8 加热方式: 电加热,1200W
2.9 冷却方式: 空冷(需压缩空气)
2.10 温度控制: 载物台内置式CA热电偶,精度为显示温度的±1%以内
2.11 接线口: 香蕉头接口(适用岩通CS系列)
6寸加热载物台
2.1 尺寸: 210mm
2.2 测试对象: 6英寸及以下晶圆或芯片
2.3 固定方式: 真空吸附
2.4 最高耐电压: 20kV
2.5 最高耐电流: 7A DC
2.6 载物台导电: 可(适用纵向排列晶粒) / 不可
2.7 温度范围: RT – 200℃ / 300℃ / 350℃
2.8 加热方式: 电加热,1200W
2.9 冷却方式: 空冷(需压缩空气)
2.10 温度控制: 载物台内置式CA热电偶,精度为显示温度的±1%以内
2.11 接线口: 香蕉头接口(适用岩通CS系列)
8寸加热载物台
2.1 尺寸: 210mm
2.2 测试对象: 6英寸及以下晶圆或芯片
2.3 固定方式: 真空吸附
2.4 最高耐电压: 20kV
2.5 最高耐电流: 7A DC
2.6 载物台导电: 可(适用纵向排列晶粒) / 不可
2.7 温度范围: RT – 200℃ / 300℃ / 350℃
2.8 加热方式: 电加热,1200W
2.9 冷却方式: 空冷(需压缩空气)
2.10 温度控制: 载物台内置式CA热电偶,精度为显示温度的±1%以内
2.11 接线口: 香蕉头接口(适用岩通CS系列)
12寸加热载物台
2.1 尺寸: 210mm
2.3 固定方式: 真空吸附
2.4 最高耐电压: 20kV
2.5 最高耐电流: 7A DC
2.6 载物台导电: 可(适用纵向排列晶粒) / 不可
2.7 温度范围: RT – 200℃ / 300℃ / 350℃
2.8 加热方式: 电加热,1200W
2.9 冷却方式: 空冷(需压缩空气)
2.10 温度控制: 载物台内置式CA热电偶,精度为显示温度的±1%以内
2.11 接线口: 香蕉头接口(适用岩通CS系列)
日本岩通计测IWATSU - 德国PMK - 牛顿N4L- GWINSTEK- 日本APOLLOWAVE - 德国 DR HUBERT 中国总代理
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