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产品信息

Product information

产品信息
IWATSU CS-8000 半导体参数分析仪CS-8500 曲线图示仪 日本岩崎

IWATSU CS-8000 半导体参数分析仪CS-8500 曲线图示仪 日本岩崎

产品型号:CS-8500      原产地:

所属类别:半导体曲线图示仪

产品简介:

可与多种单元组合,支持任何工序的特性评估,适用于下一代的半导体测量。

搭载最大电压5kV、最大电流2kA,备有脉冲输出、门极模式、微电流测量功能,大力支持Sic、GaN等宽禁带半导体的设计评估。

产品特点
产品参数
应用说明
功能配置
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可与多种单元组合,支持任何工序的特性评估,适用于下一代的半导体测量。

搭载最大电压5kV、最大电流2kA,备有脉冲输出、门极模式、微电流测量功能,大力支持Sic、GaN等宽禁带半导体的设计评估。


  • 最大5kV、最大2000A的大功率测试

  • 正确的微电流测量 (分辨率250fA)

  • 大画面12.1英寸触摸屏幕

  • 多种GATE信号输出功能

  • 充实的温度特性测量选配件

  • 探测台上的大功率晶圆测试

易于使用的UI

搭载12.1英寸TFT-LCD(1,280×800)的高清、大画面显示器,添加触摸屏幕操作功能,可通过前面板上的功能键、各功能的独立旋钮实现直观操作。

①X-Y显示区域

可将任意电压/电流参数分别设置于X轴、Y轴,并显示Vds Id特性、阈值电压、Vds-Vgs饱和特性等各种半导体特性曲线。同时,还可在Y轴上设置多个参数。刻度可在Log/线性之间相互切换。

②Y-T显示区域

可像示波器一样通过时间轴显示测量印加波形。可实时确认脉宽、测量点、振荡等波形异常等,所以可轻松检验测量是否正确完成。 所有印加波形数据均可与X-Y显示的数据同时保存,所以可对测量结果再次执行检验。

③测量数据显示区域

以文本方式显示详细测量结果和测量条件、状态。

④配置设置区域

设置设备的测量配置。支持以图形方式显示电压/电流单元的选择及配线变更等

⑤参数设置区域

在此区域执行测量参数/测量限值的设置及手动/自动测量的切换等作业。

⑥操作面板

正面面板上配有按钮和转动旋钮,可轻松执行手动测量。 配置于中央的数字键可执行参数的数值输入。 可通过DRAIN/COLLECTOR/GATE/BASE/垂直轴/水平轴转动旋钮轻松执行手动测量。

基于用途的输出源

可基于用途任意选择测量所需电压/电流单元。

右侧照片分别为:
上段:测试台
下段:大电流单元

HV单元

2kV、5kV的高电压单元。DC/脉冲波可选。额定电压/额定电流驱动测量可选。

主单元CS-8200CS-8500
最大电压
(最大电流)
2 kV
(20 mA)
5 kV
(8 mA)
波形DC、脉冲
极性正/负
测量电流分辨率250 fA

MV单元(所有主单元标配)

200V的中电压单元。额定电压/额定电流驱动测量可选。DC、脉冲等、SIN、半波、全波波形可选。

最大电压
(最大电流)
200 V(2 A)
波形DC(200 mA)、
脉冲(2A)、
SIN、半波、全波
极性正/负/两极性
测量电流分辨率250 fA

GATE单元(所有主单元共通)

40V的单元。额定电压/额定电流驱动测量可选。DC、脉冲等、SIN可选。

最大电压(最大电流)40 V(1 A)
波形DC、脉冲、SIN
极性正/负/两极性
测量电流分辨率250 fA

HC单元

搭载大电流模式,由此可支持最大2000A的大电流测量。脉宽、测量周期、测量范围均可调整

HC
单元
CS-205CS-210CS-220
最大电流
(电压)
500 A
(50 V)
1 kA
(50 V)
2 kA
(50 V)
波形脉冲
脉宽10μs~1ms10μs~500μs
极性正/负

最小电流分辨率 50 fA

通过三轴的采用和测量类的优化,有效削减了设备内的漏电流和噪声,可实现微电流的稳定测量。

码型GATE信号输出

可按排序输出、印加GATE信号。

保持时间可调范围
0.000[s] ~ 5.000[s]

预备信号电压范围
GATE侧 -40[V] ~ +40[V]


SiC 迟滞测量功能

CS-8000对于具有迟滞的SiC及GaN等宽禁带半导体测量备有便利功能。

双重扫频功能可同时显示UP扫频、DOWN扫频,所以可执行迟滞观测。

安全装置

添加联动功能,备有输出限值功能。

可为电压/电流/功率分别设置限值,由此防止DUT的损伤。
同时,通过硬件的过电流保护功能,在流入测量量程的1.4倍电流时即会阻断电流。

组合结构

可根据测量对象电压和电流选择HC单元或测试台。

■结构示例  在2kV、2,000A环境下使用时
主单元:CS-8200
HC单元:CS-220
测试台:CS-8200
附件电缆
 HV标配电缆套装 CS-021
 HC标配电缆套装 CS-022



CS-8000 半导体参数分析仪系列 主要规格

主单元 机型名称CS-8020CS-8200CS-8500
HV单元
最大峰值电压(最大电流)2 kV(20 mA)5 kV(8 mA)
测量电压量程(满量程)2 kV ~ 50 V5 kV ~ 50 V
测量电流量程20 mA ~ 50 μA20 mA ~ 50 μA
最小测量电流分辨率250 fA250 fA
波形DC/脉冲DC/脉冲
MV单元
最大峰值电压(最大电流)200 V(1 A)
测量电压量程(满量程)200 V ~ 200 mV
测量电流量程2 A ~ 5 nA
最小测量电流分辨率250 fA
波形DC(200 mA)、脉冲(2A)、SIN、半波、全波
GATE单元
最大峰值电压(最大电流)40 V(1 A)
测量电压量程(满量程)50 V ~ 1 V
测量电流量程1 A ~ 5 nA
最小测量电流分辨率250 fA
波形DC/脉冲/SIN(50 Hz)
标配附件电源线、控制接口终端器、使用说明书(手册+CD)



HC单元 机型名称CS-205CS-210CS-220
最大峰值电流(最大电压)500 A(50 V)1,000 A(50 V)2,000 A(50 V)
测量电压量程(满量程)50 V ~ 200 mV50 V ~ 200 mV50 V ~ 200 mV
测量电流量程500 A ~ 5 A1,000 A ~ 5 A2,000 A ~ 5 A
波形脉冲
(脉宽10μs ~ 1ms)
脉冲
(脉宽10μs ~ 500μs)
脉冲
(脉宽10μs~ 500μs)
标配附件电源线、HC-FIXTURE连接单元、使用说明书
  • 使用HC单元时,需另行准备感应电缆。



测试台 机型名称CS-320MV(计划近日发售)CS-322HV/HC
标配附件电源线、标配引脚套装(CS-005 1套7根)、使用说明书
HV/HC电缆(2根)
  • 连接测试台时,需另行准备连接线。

连接线套装(连接测试台及HC单元时使用。)

电缆套装名称型号品名

CS-020

MV标配电缆套装

(CS-320专用推荐套装)

CS-026三轴电缆(L=1.0m) 7根
CS-027控制接口连接线(L=1.0m) 1根
CS-028联动/感应电缆(L=1.0m) 1根

CS-021

HV标配电缆套装

(CS-322专用推荐套装)

CS-025HV电缆(L=1.0m) 2根
CS-026三轴电缆(L=1.0m) 7根
CS-027控制接口连接线(L=1.0m) 1根
CS-028联动/感应电缆(L=1.0m) 1根

CS-022

HC标配电缆套装

(HC单元专用推荐套装)

CS-027控制接口连接线(L=1.0m) 1根
CS-028联动/感应电缆(L=1.0m) 1根