联讯仪器 RM1013-HV 半导体高压开关矩阵低漏电开关矩阵_SMU源表_半导体材料与器件参数分析_产品信息

联讯仪器 RM1013-HV 半导体高压开关矩阵低漏电开关矩阵

产品型号：RM1013-HV 原产地：中国

所属类别：SMU源表

产品简介：

联讯仪器RM1013-HV 半导体高压开关矩阵主机配合S3030F或其他源表可满足半导体高速测试应用。可支持多张开关矩阵子卡（R1013G-HV）扩展通道，具有很高性价比，适合工程应用。支持传统的SCPI命令，让测试代码的迁移变得轻松快捷，可支持多机并联，集成到生产测试系统中使用，以提高系统的测试效率并降低成本。

产品特点

产品参数

应用说明

功能配置

特点

适配高压半导体
基于高压、高绝缘干簧继电器和低泄漏电流控制技术
多路高压灵活测量
支持2路高压低泄漏电流通道输入
整机支持10路输入和24路输出
高压低泄漏电流
＜300pA@3000V
配合S3030F等高精密SMU实现更高精密自动测
支持快速测量
电流建立时间＜10秒（1V电压输入开始到电流<300fA）
高继电器触点寿命
使用世界一流的干簧管制作的继电器，机械寿命最高可达10^8次
10MHz带宽
优化C-V和DMM通道的传输带宽
在>1MHz，<10MHz时，带宽衰减随着频率升高而逐步提高
支持2种控制连接
通过LAN传输的SCPI命令连接系统控制器与上位机软件
在 PC 上运行上位机 GUI 软件进行通道闭合断开的控制
软件功能丰富
界面GUI可轻松配置通道的闭合、断开进行测量

通道技术指标

参数名称	指标
输入通道数量	2 (High Voltage Low Leakage I-V Port) 4(General I-V Port) 2 (C-V Port) 2 (DMM Port)
输出通道数量	8/16/24
额定电流（Max.）	1 A
额定电压（Max.）	3500 V（High Voltage I-V Port ,Channel to Ground） 3500 V（High Voltage I-V Port ,Channel to Channel) 200 V (Channel to Ground) 200 V (Channel to Channel)
通道导通电阻	0.6 Ω (Low Leakage I-V Port) 1.0 Ω (General I-V Port) 1.0 Ω (C-V, HF Port)
通道绝缘电阻【1】	10^13 Ω (Low Leakage I-V Port) 10^12 Ω (General I-V Port) 10^9 Ω (C-V, HF Port)

[1]绝缘电阻测试环境：23℃ ± 5℃, 5% to 60% RH。

典型参数

参数名称

指标

失调电流

＜1 pA (Low Leakage I-V Port)

＜20 pA (General I-V Port)

通道串扰电容

＜0.4 pF/CH

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