本系统是专门为二极管、三极管、MOSFET、IGBT、宽禁带功率器件等两端和三端功率器件的晶圆进行在片电性能测试/检查,可靠性电学测试所开发的，对应TAIKO 规格晶圆并向下兼容常规晶圆与芯片测试，集成全球顶尖的半导体测试仪器美国Keithley公司4200A-SCS型测试仪接口和日本APOLLOWAVE公司经典高低温阿尔法200手动探针台，将阿尔法200与4200A-SCS匹配后可实现MOSFET,IGBT等功率器件芯片制程中的I-V /C-V 特性检查测试，IGBT/FRD 芯片的静态特性在片测试。

本系统的晶圆接触装置由阿尔法探针台及探针，探针臂等组成；探针台使用时无须进行任何水平度调整即可对应8英寸TAIKO晶圆的测试，并向下兼容NORMAL 规格晶圆的测试。

本系统配备有载物台支架与安全联锁防护装置，测试时安全联锁开关信号与仪器进行联锁保护，确保操作人员及器件的安全。

本系统设计时结合人体工程学原理及晶圆在片测试行业操作规范，进行了多项设计创新，有效的降低了误碰与误操作机率，与普通测试台相比具有优异的性能且具有操作灵活性与易用性。

WAT系统可以对四端，三端，二端子结构的IGBT,MOSFET，二极管，三极管，电阻性器件，电容及容性器件，及阻性及容性组合的器件进行参数分析，包括漏电，导通电流，内阻，耐压，结电容，C-V特性等电参数测量。

最大工作电压：200V, 可扩展2000V

最小工作电压：0.2uV

最大工作电流：100A （pulse）

最小分辨率电流：0.1fA

最高工作温度：300度

支持晶圆：4“， 6” ，8“ 

接触电阻：< 15mohm

TAIKO:   支持最低100um-300um

支持器件类型：支持平面，垂直型，2端，3端，4端子器件