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Cascade TESLA 200 美博 大功率8英寸半自动探针台
产品型号：TESLA 200 原产地：美国
所属类别：半自动探针台
TESLA 系列专门为新型功率半导体的开发与生产品质检查而开发，特别适合于高电压，大电流的功率型半导体晶圆的测试方向 。
高功率：最高工作电压10kV（同轴CHUCK）（三轴为3kV）,最大工作电流 600A（双探针并联）/300A(单探针最大脉冲电流)
可选温度CHUCK：可选CHUCK最大温度变化范围-55-300℃（噪声与漏电会与常规chuck有区别）
适配晶圆：200mm
支持最大探针座数量： 8个DC探针座 or 4个RF探针座
操作方式：自动、半自动可选
uploadfile/2025/1202/20251202042653295.pdf
（CASCADE TESLA-200 DATA SHEET）
多用于功率半导体晶圆测试
可选自动/半自动探针台系统
可选常规/热CHUCK
可选不同规格探针座
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